激光剥蚀进样系统一般包括高能量的激光器、聚焦激光的光学系统及相应的控制单元、样品烧蚀室以及使产生的气溶胶有效传输至等离子体的接口装置等。高能量的激光束经过聚焦后照射在试样表面，对试样表面进行微区剥蚀，产生的气溶胶和细微颗粒与从样品室底部以切线方向引入的环绕样品的氩气流形成气溶胶，从样品室的顶部或侧面引出，由连接管引至ICP炬管(去除雾化器和雾室)。激光剥蚀系统在提高空间分辨率(<10μm)、提高物质吸收率、降低分馏效应、改善测量精密度等方面都获得重大改进。

美国CETAC的激光剥蚀产品线包括213nm固态激光系统、193nm准分子激光系统、飞秒激光系统（与ICP-MS联用），及CO2和二极管激光熔融系统（与惰性气体同位素质谱联用），此外多种高性能配件与更加直观的分析软件能够增强并完善系统的功能。产品广泛用于地质、考古、材料、法医、生化、制药等领域，足以为元素分析用户提供先进的激光剥蚀技术。

Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统是市面上很具操作性的飞秒系统，采用结构紧凑、全密闭的工业级激光源，无需二次校准和清洁维护。系统提供多种波长可选，如1028nm、257nm、206nm，或配置多波长切换控制，相对应的能量密度为10J/cm2(1028nm)、5J/cm2(257nm)、3J/cm2(206nm)，在稳定运行情况下剥蚀稳定性RSD能达到0.1%。同时系统配备HelEx II双体积双气路涡流样品池，提供快速冲洗效率和持续的剥蚀环境。

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