在于原子化器具有很高的温度，多种元素都可得到很好地原子化，散射问题也得到的克服，由计算机控制，灯电源顺序地向各检测单元的空心阴极灯供电，所产生的荧光由相应的光电倍增管检测，光电转换后的电信号在放大后由计算机处理，并报出各元素的分析结果，值得提出的是，以ICP为原子化器的等离子发射光谱仪对难熔元素的测定灵敏度不高，等离子气和辅助气都从切线方向引入，因此高温气体形成旋转的环流。同时，由于高频感应电流的趋肤效应，流在圆形回路的外周流动。这样，感耦高频等离子炬就必然具有环状结构。 环状的结构造成一个电学屏蔽的中心通道。电学屏蔽的中心通道具有较低的气压、较低的温度、较小的阻力，使试样容易进入炬焰，并有利于蒸发、解离、激发、电离以至观测。
等离子发射光谱仪根据探测器的计数与浓度的比例关系，可测出元素的含量或同位素比值，具有很低的检出限，基体效应小,谱线简单，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。等离子体参数与气体压强的关系，在不同的压强下放电电子密度的空间分布。因此可以得到该装置电压随气体压强变化关系，以便得到获取等离子体*气体压强条件，在稳定放电的情况下，固定放电电压，给静电探针加50V电压，调节气体压强直至放电终止。实验室等离子体是在有限容积的等离子体发生器中产生的。如果环境温度较低，等离子体能够通过辐射和热传导等方式向壁面传递能量。
