残余应力分析仪不仅可以克服应变片处的温差影响，更可克服应变仪处的温差影响，也可适用于温差较大、气温极为恶劣的环境，采用单色液晶屏及 人性化机壳，使用起来直观、方便，采用下拉式菜单界面，各选项及工件材料参数的输入或查询极为方便。使射线作用在胶片上，然后测量底片上衍射点的黑度来获得衍射线的强度数据，残余应力分析仪根据实验装置和条件的差别，通常采用平板底片。晶体只在选定的角度范围内来回摆动。这样可以避免同一层线上衍射点的重叠。但要摄取多套回摆图，才能收集完整的衍射数据。回摆照相法若配上计算机，自动测量衍射点强度和指标化，则有相当的性。目前广泛用于蛋白质的结构分析，与四圆衍射仪比较，可节省衍射实验的时间。
当较外层的电子跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子。残余应力分析仪的能量是特征的，与入射辐射的能量无关，当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收，而是以辐射形式放出，便产生X射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。可为支架结构设计、施工及原岩应力推算提供基础资料。采场顶板的位移量，特别是位移速度，是顶板冒落的重要依据，当位移值及位移速度超过预置临界值时，应发出警报。
