全反射X射线由X射线激发源、全反射光路系统、探测器、放大器、脉冲高度分析器和配置的计算机组成。主要是利用全反射将激发源一次X射线在样品上由散射引起的背景大大降低，故精度很高。它检测灵敏度高，可达纳克级以上（10-9¬——10-12g），定量分析简单，无集体效应操作简单。
由于TXRF分析技术用样量很少，也不需要制作样品的烦琐过程，又没有本底增强或减弱效应，不需要每次对不同的基体做不同的基体校准曲线。另外由于使用内标法，对环境温度等要求很低。因而在简便性、经济性、用样量少等方面，都比WXRF方法有明显的优越性。
在元素分析领域内的应用现状和发展前景都是令人鼓舞的。它可以广泛应用于地矿、冶金、化工、食品、生物、医药、环保、法检、考古、高纯材料等等各领域内的常量、微量、痕量元素分析测定。特别在半导体工业中的硅片表面质量控制方面，有着不可替代的优势，目前已在国际上得到广泛应用。
1、地矿：金矿、铜精料和镍精料、萤石、长石、氧化锑；
2、冶金：镍电解液、铜阳极泥、高冰镍中的贵金属、光谱纯Rh、金银首饰、铸铁、轴承；
3、化工：柴油中的硫含量，各种催化剂，陶瓷釉药；
4、环境保护：自来水、大气飘尘、污水污泥；
5、生物：海洋动物牙齿和体液；
6、医药：头发和指甲中的有益有害元素，丹参中有害微量元素；
7、食品：饮料中有益和有害元素；
8、刑侦法医：撞车现场样品鉴定。
